潔凈棚的潔凈度
瀏覽次數(shù):2305發(fā)布日期:2014-05-26
潔凈棚的潔凈度往往受到氣流的影響,換而言之,即人、機(jī)器設(shè)備、建筑結(jié)構(gòu)等所產(chǎn)生的塵埃之移動、擴(kuò)散受到氣流的支配?!崈襞锔鶕?jù)凈化等級的要用HEPA過濾器、ULPA超空氣過濾器過濾空氣,其塵埃的收集率達(dá)99.97~99.99995%之多,以滿足凈化空氣的要求。潔凈棚內(nèi)的氣流是左右潔凈室性能的重要因素,一般潔凈室的氣流速度在0.25~0.5m/s之間,此氣流速度屬微風(fēng)區(qū)域,易受人、機(jī)器等的動作而干擾趨于混亂、雖提高風(fēng)速可抑制此一擾亂之影響而保持潔凈度、但因風(fēng)速的提高,將影響運(yùn)轉(zhuǎn)成本的增加,所以應(yīng)在滿足要求的潔凈度水準(zhǔn)之時(shí),能以zui適當(dāng)?shù)娘L(fēng)速供應(yīng),以達(dá)到適當(dāng)?shù)娘L(fēng)速供應(yīng)以達(dá)到經(jīng)濟(jì)性效果?!×硪环矫嬗_(dá)到潔凈室潔凈度之穩(wěn)定效果,均一氣流之保持亦為一重要因素,均一氣流若無法保持,表示風(fēng)速有異,特別是在壁面,氣流會延著壁面發(fā)生渦流作用,此時(shí)要實(shí)現(xiàn)高潔凈度事實(shí)上很困難?!〈怪睂恿魇椒较蛞3志粴饬鞅仨殻?span lang="EN-US" style="font-size: medium; margin: 0px; padding: 0px; ">(a)吹出面的風(fēng)速不可有速度上的差異;
(b)地板回風(fēng)板吸入面之風(fēng)速不可有速度上的差異。速度過低或過高
(0.2m/s,
0.7m/s)均有渦流之現(xiàn)象發(fā)生,而
0.5m/s之速度,氣流則較均一,目前一般潔凈室,其風(fēng)速均取在
0.25~0.5m/s之間?!∮绊懸蛩亍∮绊憹崈襞锏臍饬饕蛩睾芏?,如制程設(shè)備、人員、潔凈室組裝材、照明器具等,同時(shí)對于生產(chǎn)設(shè)備上方氣流的分流點(diǎn),亦應(yīng)列入考慮因素。